[发明专利]带电粒子束装置和机器学习方法在审
| 申请号： | 201910435670.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110534390A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 植松文徳 | 申请（专利权）人： | 日本电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 11323 北京市隆安律师事务所 | 代理人： | 权鲜枝;刘宁军<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种带电粒子束装置和机器学习方法，其中，图像转换部(28)包含选择器(30)和多个图像转换器(32‑1、…、32‑n)。各图像转换器由机械学习型的推定器构成，根据在第1观察条件下取得的图像，推定在第2观察条件下可能会取得的图像作为参考图像。当从显示于显示器(36)的多个参考图像之中选择了特定的参考图像时，与其对应的第2观察条件作为接下来的观察条件被设定在观察机构(10)中。 | ||
| 搜索关键词： | 观察条件 参考图像 图像转换器 带电粒子束装置 图像 图像转换部 机器学习 推定器 选择器 学习型 推定 显示器 观察 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包含：/n观察机构，其通过向对象物照射带电粒子束来观察上述对象物；/n推定部，其基于在当前观察条件下由上述观察机构所得到的当前图像，推定在假定观察条件下可能会由上述观察机构得到的图像作为参考图像；以及/n显示器，其显示上述参考图像。/n
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