[发明专利]一种烘烤设备在审
申请号: | 201910435706.3 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN110128033A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 涂乐志 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C25/12 | 分类号: | C03C25/12 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种烘烤设备,包括加热腔室、承载板以及除污器,其中所述承载板设置于所述加热腔室的底板上,且所述除污器可移动地设置于所述加热腔室内与所述底板相对的顶板上,所述除污器在所述顶板上进行移动以达到除去污渍的目的。本发明通过在烘烤设备的加热腔室内壁设置可移动地除污器,及时除去加热腔室内壁残留的溶剂,有效的防止了因溶剂的掉落而污染基板,保证了产品的品质。 | ||
搜索关键词: | 除污器 烘烤设备 加热腔 底板 加热腔室 承载板 室内壁 溶剂 可移动地设置 可移动地 污染基板 污渍 掉落 残留 室内 移动 保证 | ||
【主权项】:
1.一种烘烤设备,其特征在于,包括:加热腔室,所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板;承载板,设置于所述加热腔室内并位于所述底板上;除污器,设置于所述加热腔室内,且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。
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