[发明专利]一种基于LTCC天线的等离子体密度测量传感器有效
| 申请号： | 201910437924.0 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110167245B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 章海锋;赵振华 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H01Q1/52;H01Q1/50;H01Q1/48;H01Q1/38;H01Q1/22 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 牛莉莉 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于LTCC天线的等离子体密度传感器，其结构总共分为三层，包括上下两层LTCC介质层，以及在LTCC介质板表面镶嵌金属铜贴片、接地板、金属通孔的中间层。中间层可以分为三部分，其中在介质LTCC的上表面有馈电结构、金属贴片，下表面有接地板、金属贴片，上下表面通过金属通孔连通。将天线放置在一个球形的等离子体内部，当等离子体的密度发生变化时，该天线的谐振频率发生规律的变化，通过该天线装置进行测量等离子体的密度。通过选择适当大小的介质板、金属贴片和馈电结构，以及它们的位置，可以在一定范围内让天线的谐振频率随等离子体密度发生有规律的变化，从而完成对等离子体密度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ltcc 天线 等离子体 密度 测量 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于LTCC天线的等离子体密度测量传感器，其特征在于：包括由上中下三层LTCC介质板结构组成的天线装置，所述中间层LTCC介质板的表面分别镶嵌有金属铜贴片、接地板及金属通孔；所述天线装置放置于球形的等离子体内部，当等离子体密度发生变化时，所述天线装置的谐振频率发生变化，所以可以根据天线谐振频率随等离子体密度的变化关系，实现等离子体密度测量传感器。
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