[发明专利]同轴串接型电子束源在审
申请号: | 201910439381.6 | 申请日: | 2019-05-24 |
公开(公告)号: | CN111333140A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 张永民;张硕;汤俊萍;姚伟博;刘美娟 | 申请(专利权)人: | 西安闪光能源科技有限公司 |
主分类号: | C02F1/30 | 分类号: | C02F1/30;C02F1/48 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 朱五云;哈达 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本申请涉及一种同轴串接型电子束源,包括内层金属套筒、中间金属套筒、外层金属套筒,以及驱动单元;所述内层金属套筒、中间金属套筒以及外层金属套筒同轴间隔设置,且所述内层金属套筒位于所述中间金属套筒的套筒壁内侧,所述外层金属套筒位于所述中间金属套筒的套筒壁外侧;所述内层金属套筒连接所述驱动单元的高压端,所述中间金属套筒悬空,所述外层金属套筒连接所述驱动单元的低压端;其中,所述高压端的输出电压高于所述低压端的输出电压;所述内层金属套筒、中间金属套筒以及外层金属套筒包括入口端及出口端,通过上述方法提高等电子发射效率以及污染物净化效率。 | ||
搜索关键词: | 同轴 串接型 电子束 | ||
【主权项】:
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