[发明专利]一种基板清洗头及基板清洗装置在审
| 申请号： | 201910440128.2 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110153079A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋阳波;赵德文;李长坤;刘远航;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基板清洗头，包括具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的通道，不同的流体管延伸通过所述通道至所述清洁垫的通孔，使得清洗液可经由所述流体管及通孔喷射至基板表面并在与污染物结合后经由其他通孔吸走。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 清洁垫 基板清洗 流体管 基板清洗装置 基座下表面 圆盘状基座 基板表面 同心连接 耦合 清洗液 喷射 污染物 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗头，包括：具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的通道，不同的流体管延伸通过所述通道至所述清洁垫的通孔，使得清洗液可经由所述流体管及通孔喷射至基板表面并在与污染物结合后经由其他通孔吸走。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910440128.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基板清洗头及基板清洗装置
- 下一篇：一种用于沙地甜高粱根根部清洗的洗根机
