[发明专利]一种半导体用洁净管的生产工艺在审
| 申请号： | 201910440386.0 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110280620A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 吴月琴;徐姚松;徐俞生;李文豪 | 申请（专利权）人： | 浙江中达特钢股份有限公司 |
| 主分类号： | B21C37/06 | 分类号： | B21C37/06;B08B9/027;C22C38/58;C22C38/44;C22C38/04;C22C38/02 |
| 代理公司： | 杭州中利知识产权代理事务所(普通合伙) 33301 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 314300 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体用洁净管的生产工艺，包括以下步骤：选择特定的管材原材料，并对管材原材料进行成分分析；根据客户需求，对管材原材料进行加工，得到相应尺寸的管件；对管件进行电化学抛光及半导体级洁净处理；对洁净处理后的管件进行性能检验；将通过检验的管件打包出厂，与现有技术相比，本发明设计合理，工艺简单，可以生产出符合标准的半导体用洁净管，提升国产半导体用洁净管在国内市场的占比额度。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 管材 管件 洁净 洁净处理 生产工艺 电化学抛光 半导体级 成分分析 客户需求 性能检验 对管 打包 出厂 国内市场 检验 加工 生产 | ||
【主权项】：
1.一种半导体用洁净管的生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：A)选择特定的管坯料，并对管坯料进行成分分析；B)通过精轧、油润滑游动芯棒拔制、固溶光亮热处理、内外表面深度清洗等工艺对管坯料进行加工，得到相应尺寸的管件；C)对管件进行电化学抛光及半导体级洁净处理；D)对洁净处理后的管件进行性能检验；E)将通过检验的管件打包出厂。
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