[发明专利]分体式过程质谱仪有效
| 申请号： | 201910440910.4 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110137071B | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 黄泽建;方向;江游;戴新华;龚晓云;谢洁;翟睿;刘梅英 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/24;H01J49/26;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;谭云 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及质谱仪设备技术领域，公开了一种分体式过程质谱仪，包括侧壁设有进样口的真空腔体、第一馈通法兰、第二馈通法兰、安装于第一馈通法兰上的离子源组件以及安装于第二馈通法兰上的质量分析器组件。第一馈通法兰可拆卸连接于真空腔体靠近进样口的一端，以将离子源组件伸入真空腔体内；第二馈通法兰可拆卸连接于真空腔体的另一端，以将质量分析器组件伸入真空腔体内；离子源组件同轴地可拆卸连接于质量分析器组件。该分体式过程质谱仪装配简单，可以装配灵敏度高、可靠性好、抗污染能力强的复合型离子源，可灵活选配适用于不同检测环境的离子源组件和质量分析器组件，提高了质谱系统的灵敏度和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 过程 质谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种分体式过程质谱仪，包括侧壁设有进样口的真空腔体，其特征在于，还包括第一馈通法兰、第二馈通法兰、安装于所述第一馈通法兰上的离子源组件以及安装于所述第二馈通法兰上的质量分析器组件；所述第一馈通法兰可拆卸连接于所述真空腔体靠近所述进样口的一端，以将所述离子源组件伸入所述真空腔体内；所述第二馈通法兰可拆卸连接于所述真空腔体的另一端，以将所述质量分析器组件伸入所述真空腔体内；所述离子源组件同轴地可拆卸连接于所述质量分析器组件。
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