[发明专利]高密度三维叠层自对准集成封装方法在审
申请号: | 201910442326.2 | 申请日: | 2019-05-25 |
公开(公告)号: | CN110211884A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 邱钊;朱勇;张先荣 | 申请(专利权)人: | 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所) |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67;H01L23/31;H01L23/498;H01L23/538;H01L21/60 |
代理公司: | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人: | 郭纯武 |
地址: | 610036 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开的一种高密度三维叠层自对准集成封装方法,旨在提供一种运用微BGA焊球作为多层基板自对准三维堆叠的层间机械支撑,同时又可作为高密度层间信号互联通道的集成封装方法,本发明通过下述技术方案实现:顶层基板的下表面,中间层基板上、下表面和底层基板的上表面均布有用于焊接微BGA焊球的焊盘,微BGA焊球附着在中间层基板上表面和底层基板上表面,中间层基板上表面的微BGA球焊盘对应顶层基板下表面,底层基板上表面微BGA球焊盘对应中间层基板下表面,形成垂直互连的矩形阵列微BGA球焊盘,中间层基板2上腔面和底层基板3上腔面基板外围呈“回”字形凸台的腔形盒体,通过工装堆叠放入回流焊炉中自对准叠层焊接形成封装体。 | ||
搜索关键词: | 中间层 底层基板 自对准 集成封装 球焊盘 上表面 下表面 基板上表面 顶层基板 三维叠层 上腔面 基板 基板下表面 垂直互连 叠层焊接 多层基板 高密度层 互联通道 回流焊炉 基板外围 机械支撑 矩形阵列 三维堆叠 字形凸台 封装体 工装 层间 堆叠 放入 附着 焊盘 盒体 均布 腔形 焊接 | ||
【主权项】:
1.一种高密度三维叠层自对准集成封装方法,具有如下技术特征:顶层基板(1)的下表面,中间层基板(2)的上、下表面和底层基板(3)的上表面均布有用于焊接微BGA焊球的微BGA球焊盘(4),微BGA焊球附着在中间层基板(2)上表面,中间层基板(2)上表面的微BGA球焊盘(4)对应顶层基板(1)下表面的微BGA球焊盘(4),底层基板(3)上表面的微BGA球焊盘(4)对应中间层基板(2)的下表面,形成了多层基板层间垂直互连的矩形阵列微BGA球焊盘(4),中间层基板(2)上腔面和底层基板(3)上腔面基板外围呈“回”字形凸台的腔形盒体;然后将锡铅比例63:37的锡铅焊料片剪切成顶层基板(1)下表面外周围“回”字形焊盘的形状,形成上封口焊料片(6),在中间层基板(2)的上腔表面外周围“回”字形焊盘上表面刷助焊剂,再将上封口焊料片(6)贴在中间层基板腔形盒体外周围向上的“回”字形口盖凸台(8)的焊盘上;将锡铅焊料片剪切成中间层基板(2)下表面外周围“回”字形焊盘的形状,形成下封口焊料片(7),在底层基板(3)的上腔表面外周围“回”字盒形焊盘上表面刷助焊剂,然后将下封口焊料片(7)贴在底层基板腔形盒体外周围向上的“回”字盒形的底层口盖凸台(9)的焊盘上;通过工装将三层基板堆叠起来,并将三层基板焊盘上搭载的共晶焊料微BGA球(5)对齐,放入回流焊炉中,采用回流焊使叠层连接用的共晶焊料微BGA焊球(5)和基板外周围的上封盖上封口焊料片(6)和(7)熔化封盖密封,使多层基板模块完成自对准叠层焊接形成封装体,实现层间信号互联传输的功能。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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