[发明专利]一种硅波导输出激光器有效
| 申请号： | 201910443247.3 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN111987585B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;石涛;王海玲;孟然哲;王明金;彭红玲;齐爱谊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01S5/343;H01S5/30;H01S5/125 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅波导输出激光器，包括：III‑V族有源结构，用于生成所述激光器的光源，所述III‑V族有源结构包括：隧道结层，用于形成反向隧穿电流通道；N型衬底，设置于所述隧道结层上表面；P型层，设置于所述隧道结层下表面；量子阱有源层，设置于所述P型层下表面；N型层，设置于所述量子阱有源层下表面；以及，硅波导结构，设置于所述III‑V族有源结构之下，用于与所述III‑V族有源结构共同形成光学谐振腔和激光输出波导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 输出 激光器 | ||
【主权项】：
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