[发明专利]微型毛细管电泳芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201910444190.9 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110308195B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 林孝康;张明哲;傅嵩 | 申请（专利权）人： | 重庆高开清芯科技产业发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/447 | 分类号： | G01N27/447;B01L3/00;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京恒律知识产权代理有限公司 11416 | 代理人： | 庞立岩;顾珊 |
| 地址： | 400039 重庆市九龙坡*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型毛细管电泳芯片包括第一层结构，在第一层结构下表面布置至少一组微金属电极，并且贯穿第一层结构开设至少一个进液孔和一个出液孔；第二层结构，在第二层结构上表面刻蚀微通道，以及储液腔、缓冲液腔和、第一废液腔和第二废液腔；第三层结构，所述第三层结构为CMOS检测电路层，所述CMOS检测电路的上表面为硅芯片；所述第一层结构与第二层结构键合，使所述进液孔与所述储液腔或缓冲液腔对齐，所述出液孔与所述第一废液腔或第二废液腔对齐，所述第二层结构与所述CMOS检测电路的上表面的硅芯片键合。本发明芯片结构高度集成化，简化传统的电泳芯片检测装置，减少检测成本，实现快速片上检测。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 毛细管 电泳 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型毛细管电泳芯片，其特征在于，所述电泳芯片包括：第一层结构，在第一层结构下表面布置至少一组微金属电极，并且贯穿第一层结构开设至少一个进液孔和一个出液孔；第二层结构，在第二层结构上表面刻蚀微通道，以及储液腔、缓冲液腔和、第一废液腔和第二废液腔；第三层结构，所述第三层结构为CMOS检测电路层，所述CMOS检测电路的上表面为硅芯片；所述第一层结构与第二层结构键合，使所述进液孔与所述储液腔或缓冲液腔对齐，所述出液孔与所述第一废液腔或第二废液腔对齐，所述第二层结构与所述CMOS检测电路的上表面的硅芯片键合。
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