[发明专利]偏振像差检测装置、物镜测试台及光刻设备有效
| 申请号： | 201910445788.X | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111176075B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 郁毅敏;李强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种偏振像差检测装置、物镜测试台及光刻设备，包括沿光束传播方向依次设置的照明单元、起偏单元、被测单元以及检偏单元；所述起偏单元包括支撑组件和多个起偏组件；所述支撑组件不透光；多个所述起偏组件镶嵌在所述支撑组件内并且呈n行m列排布，其中，n为大于或等于4的正整数，m为大于或等于1的正整数；同一列中，至少四个所述起偏组件形成的光线的偏振态互不相同，起偏组件用于调制照明单元出射的光的偏振态,以使经多个起偏组件后入射至被测单元的光具有不同的相位和振幅二向衰减。本发明提供的偏振像差检测装置，避免了干涉条纹状噪音的产生，减低了偏振像差检测装置的制备成本，提高了偏振像差检测装置的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 检测 装置 物镜 测试 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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