[发明专利]一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备有效
| 申请号： | 201910447461.6 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110153114B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 付琦龙 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/043 | 分类号： | B08B9/043;F16L41/03;F16L55/07;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，管道清洁装置包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。本发明实施例能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅，以解决真空泵异常宕机的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 清洁 装置 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种管道清洁装置，其特征在于，包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出所述目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。
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