[发明专利]一种GaAs光导开关载流子浓度分布变化测试方法及光路有效
| 申请号： | 201910448737.2 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110133471B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 栾崇彪;赵娟;李洪涛;马勋;肖金水;黄宇鹏 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/265 | 分类号： | G01R31/265 |
| 代理公司： | 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) 51288 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种GaAs光导开关载流子浓度分布变化测试方法，属于半导体器件测试领域，本发明利用激光照射GaAs光导开关的不同位置，根据被照射位置折射率的变化，获得GaAs光导开关导通过程中内部载流子浓度分布变化曲线，本发明提供的GaAs光导开关导通过程中内部载流子准动态分布诊断方法，填补了光导开关内载流子浓度分布变化诊断的空白，可为新型GaAs光导开关设计提供依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gaas 开关 载流子 浓度 分布 变化 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种GaAs光导开关载流子浓度分布变化测试方法，其特征在于利用激光照射GaAs光导开关的不同位置，根据被照射位置折射率的变化，获得GaAs光导开关导通过程中内部载流子浓度分布变化曲线。
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