[发明专利]一种大尺寸高密度无粘结相碳化钨靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910450038.1 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110171975B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 盛利文;谢志鹏;盛建华;安迪;戴金宁 | 申请（专利权）人： | 株洲新融利实业有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/56 | 分类号： | C04B35/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南格创知识产权代理事务所(普通合伙) 43263 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 412000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大尺寸高密度无粘结相碳化钨靶材的制备方法，包括以下步骤：S1.配料；S2.球磨与筛分处理；S3.烧结处理；S4.后处理；所述原料由碳化钨粉末和游离碳组成，所述烧结处理过程中同时施加动态的振荡压力。本发明在纯碳化钨粉末中引入游离碳，摒弃传统的金属粘结相，不但保证了靶材的纯度，而且有利于提升磁控溅射涂层的质量。本发明在烧结过程中引入动态的振荡压力，在碳化钨粉体的烧结前期促进了颗粒重排，在烧结后期促进了残余气孔的排除，提升烧结密度的同时细化了晶粒；采用本发明的高压振荡助烧结还能在传统热压烧结工艺基础上，使烧结温度下降50～200℃，制备出高密度细晶粒的碳化钨靶材，改善镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 高密度 粘结 碳化 钨靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸高密度无粘结相碳化钨靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.配料：将原料按质量分数比例进行称重，备用；S2.球磨与筛分处理：将步骤S1称量好的原料进行球磨处理得到浆料，然后将混合均匀的浆料进行干燥，最后进行筛分处理，得到粒径均匀的混合粉末；S3.烧结处理：步骤S2的混合粉末放入模具并置于烧结炉中进行烧结处理，同时施加动态的振荡压力，冷却脱模后得到碳化钨靶材坯体；S4.后处理：将步骤S3得到的碳化钨靶材坯体进行切割和表面加工，即得。
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