[发明专利]一种晶圆测试装置、测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 201910452209.4 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN112014604A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 田文亚;樊腾;郭恩卿 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及测试技术领域，公开了一种晶圆测试装置、测试系统及测试方法。本发明中提供了一种晶圆测试装置，包括：包含多个电极探针的晶圆测试卡、与晶圆测试卡连接的至少一个信号通路，其中，至少两个电极探针共用一个信号通路；至少一个信号通路用于为多个电极探针提供测试电信号；多个电极探针用于连接待测晶圆上的待测芯片，并利用测试电信号对待测芯片进行测试。本发明实施方式提供的一种晶圆测试装置、测试系统及测试方法，能够降低测试装置成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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