[发明专利]多光束耦合激光加工系统及方法有效
| 申请号： | 201910454010.5 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110091073B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张文武;王恒;陈晓晓;张天润 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发;王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多光束耦合激光加工系统及方法。所述多光束耦合激光加工方法包括：提供至少两束第一激光束以及在该至少两束第一激光束的光路上设置一聚焦透镜，使该至少两束第一激光束可被控制地穿过同一所述的聚焦透镜并交叉重叠，进而在交叉重叠区域形成加工能量域，将待加工工件的局部置于所述加工能量域内，进而实现对所述待加工工件的加工处理；其中所述第一激光束的功率密度小于待加工工件材料的烧蚀阈值，所述加工能量域内的功率密度大于待加工工件材料的烧蚀阈值。本发明提供的一种多光束耦合激光加工方法，可调控加工能量域的空间体积与姿态，实现高速、高分辨率加工，具有可靠性高、可控性高、设备要求低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 耦合 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多光束耦合激光加工系统，其特征在于包括：激光光源，其用于提供至少两束激光束，任一所述激光束的功率密度小于待加工工件材料的烧蚀阈值；与所述至少两束激光束对应的一个聚焦透镜，所述聚焦透镜对应设置在该至少两束激光束的光路上，其中，所述至少两束激光束可被控制地在经所述聚焦透镜聚焦后交叉重叠，并在所述交叉重叠区域形成加工能量域，所述加工能量域内的功率密度大于待加工工件材料的烧蚀阈值。
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