[发明专利]PM刮拭治具有效
申请号: | 201910454506.2 | 申请日: | 2019-05-29 |
公开(公告)号: | CN110193481B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 陈洪校 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种PM刮拭治具,包括:刮擦板,其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口;支撑机构,其与所述刮擦板的下边缘连接。本发明通过采用该缺口来对口金边缘的光阻进行擦除,具有擦除效果好,避免光阻残留的有益效果。 | ||
搜索关键词: | pm 刮拭治具 | ||
【主权项】:
1.一种PM刮拭治具,其特征在于,包括:刮擦板,其上边缘开设有一用于刮擦口金边缘的光阻的缺口;支撑机构,其与所述刮擦板的下边缘连接。
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