[发明专利]测量固体间压力的力传感器有效
| 申请号： | 201910454746.2 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110044521B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 柳俊文;史晓晶 | 申请（专利权）人： | 南京元感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/02 | 分类号： | G01L1/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 赵吉阳;李明 |
| 地址： | 210032 江苏省南京市浦口*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量固体间压力的力传感器。力传感器包括传感器主体，包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待测量的压力，第二表面上设置有液体腔以及位于液体腔沿其长度方向两侧且呈环状的卡接槽，液体腔呈柱状结构；弹性膜片，位于第二表面以接收压力并反馈至液体腔中，包括呈柱状的本体部以及自本体部向第一表面方向凸出且呈环状的卡接部，本体部覆盖并密封液体腔且其在液体腔的正投影落在液体腔外侧，卡接部卡设在卡接槽内；压力变送器，与液体腔连通，以测量液体腔内的液体压力信号。本发明的力传感器方便安装和密封，并可以实现准确且实时的测量压力。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 固体 压力 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种测量固体间压力的力传感器，其特征在于，包括：传感器主体，所述传感器主体包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面用于接收待测量的压力，所述第二表面上设置有液体腔以及位于所述液体腔沿其长度方向两侧且呈环状的卡接槽，所述液体腔呈柱状结构；弹性膜片，所述弹性膜片位于所述第二表面，所述弹性膜片包括呈柱状的本体部以及自所述本体部向所述第一表面方向凸出且呈环状的卡接部，所述本体部覆盖并密封所述液体腔且其在所述液体腔的正投影落在所述液体腔外侧，所述卡接部卡设在所述卡接槽内，所述弹性膜片用于接收所述压力并将所述压力反馈至所述液体腔中；压力变送器，所述压力变送器与所述液体腔连通，以测量所述液体腔内的液体压力信号。
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