[发明专利]圆形结构的MgZnO薄膜晶体管的太阳能电池逆变器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910455480.3 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110190133A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 黄健;周新雨;黄柘源;胡艳;尚艺;马云诚;别佳瑛;唐可;王林军 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/227;H01L29/06;H01L21/34 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆形结构的MgZnO薄膜晶体管的太阳能电池逆变器及其制备方法，制备了MgZnO薄膜，对太阳能电池逆变器的结构进行了设计，本发明逆变器的结构采用电极‑绝缘层‑沟道层‑电极的结构的组合形式，依次由Cr电极、SiO2衬底、MZO沟道和Au电极四部分进行层叠组装而成。本发明相比传统的逆变器，具有较高的阻断电压以及夹断电压，并且安全无毒，适宜使用于日常生活中的太阳能发电中。本发明价格相较IGZO材料的价格低廉，适用于大规模太阳能电池中。本发明的衬底使用的是玻璃，且MZO薄膜为透明薄膜，所以相比传统太阳能电池，在美观程度上具有较大的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 逆变器 太阳能电池 电极 制备 圆形结构 晶体管 衬底 绝缘层 传统太阳能电池 太阳能发电 层叠组装 夹断电压 透明薄膜 阻断电压 组合形式 传统的 沟道层 沟道 薄膜 无毒 美观 玻璃 安全 | ||
【主权项】：
1.一种圆形结构的MgZnO薄膜晶体管的太阳能电池逆变器，其特征在于：其结构采用衬底‑电极‑绝缘层‑沟道‑电极的结构组合形式，依次由玻璃基底‑Cr电极、SiO2绝缘层、MZO沟道和Au电极四部分进行层叠组装而成透明薄膜晶体管，衬底采用透明玻璃，且MZO薄膜为透明薄膜。
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