[发明专利]一种检测装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 201910457362.6 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN110057835A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 陈鲁;方一;李青格乐 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/958
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵晓荣
地址: 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种检测装置及检测方法。装置包括光线发生设备和成像设备。光线发生设备包括条纹图案,该设备用于发射光束并通过所述光束将所述条纹图案投射至所述待测物,条纹图案包括多个平行排列的分离的直条;成像设备用于获得待测物透射或反射的所述光束形成检测图像,所述检测图像包括多个条纹;检测图像用于根据所述条纹获取所述待测物的缺陷信息。如果待测物表面加工理想不存在缺陷,成像设备得到的检测图像应该呈现出与条纹图案相似的笔直条纹。但如果待测物表面存在缺陷,例如桔纹、模刮或压痕等,检测图像中的条纹则会发生扭曲。利用该检测装置能够实现对待测物表面缺陷的自动检测,相比于现有的人工检测方法,检测效率显著提高。
搜索关键词: 检测图像 条纹图案 条纹 成像设备 待测物 待测物表面 发生设备 种检测 检测 表面缺陷 发射光束 光束形成 检测装置 缺陷信息 人工检测 自动检测 透射 投射 压痕 直条 反射 扭曲 申请 加工
【主权项】:
1.一种检测装置,其特征在于,包括:光线发生设备和成像设备;所述光线发生设备包括条纹图案,所述光线发生设备用于发射光束,并通过所述光束将所述条纹图案投射至所述待测物,所述条纹图案包括多个平行排列的分离的直条;所述成像设备,用于获得所述待测物透射或反射的所述光束,形成检测图像,所述检测图像包括多个条纹;所述检测图像用于根据所述条纹获取所述待测物的缺陷信息。
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