[发明专利]一种具有异质层结构的基板、制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 201910457995.7 申请日: 2019-05-29
公开(公告)号: CN110211930A 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 张孔;刘建军;魏晓旻;王运龙 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
主分类号: H01L23/06 分类号: H01L23/06;H01L23/492
代理公司: 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 代理人: 王林
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种具有异质层结构的基板的制备方法,包括如下步骤:将生瓷片整理得到基板单层生坯,将其整理得到基板坯体;对异质层的上端或下端进行粗化、打孔、设置对位标记处理获得预处理异质层;在预处理异质层粗化面上印刷第一印刷层,在粗化面相对的另一端面上印刷第二印刷层,在通孔中填充浆料,获得印刷填孔异质层;将印刷填孔异质层平铺或堆叠在基板坯体的上端或下端,得到堆叠体;在堆叠体的基板坯体端由内到外依次设置支撑层、第一保护层,在堆叠体的异质层端设置第二保护层,等静压后得层压堆叠体;将层压堆叠体去胶、烧结,得到具有异质层结构的基板,该基板在高温条件下使用,不受后续组装温度影响,使用范围广。
搜索关键词: 异质层 基板 堆叠体 板坯 印刷 预处理 层压堆叠 印刷层 上端 粗化 填孔 下端 制备 第二保护层 第一保护层 对位标记 高温条件 填充浆料 温度影响 依次设置 烧结 粗化面 等静压 生瓷片 支撑层 打孔 单层 堆叠 平铺 去胶 生坯 通孔 组装 应用
【主权项】:
1.一种具有异质层结构的基板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)制备基板坯体:将生瓷片依次通过冲孔、填孔、印刷工序整理,得到基板生坯,将基板生坯经过叠层、静压、热切处理得到基板坯体;(2)对异质层进行预处理:(21)对异质层的上端面或下端面进行粗化,得到粗化面,然后冲洗并烘干;(22)在所述粗化面上加工通孔并设置对位标记,然后放入清洗液中浸泡,80~100℃下浸泡3~5min,然后超声清洗15~30min后干燥,获得预处理异质层;(3)对预处理异质层进行印刷、填孔处理:(31)在异质层所述粗化面上印刷第一印刷层,印刷后静置5~10min,然后干燥;(32)在所述通孔中填充浆料,然后烘干;(33)在所述异质层与粗化面相对的面上印刷第二印刷层,并自然晾干,获得印刷填孔异质层;(4)制备层压堆叠体:(41)将所述印刷填孔异质层堆叠或平铺在所述基板坯体的上端或下端,印刷填孔异质层通过所述粗化面与基板坯体接触,得到堆叠体;(42)在所述堆叠体的基板坯体端由内到外依次设置支撑层、第一保护层,在所述堆叠体的异质层端设置第二保护层,然后真空包装,最后在80℃、压力2500~2800PSI下,热等静压8~12min后去除支撑层、第一保护层、第二保护层,获得层压堆叠体;(5)制备具有异质层结构的基板:将所述层压堆叠体置于设备中进行去胶、烧结处理,得到具有异质层结构的基板;去胶段温度30~460℃,升温速率0.8~1.5℃/min,460℃下保温90~120min完成去胶处理;烧结段温度460~880℃,升温速率5~6℃/min,870~880℃下保温8~12min完成烧结处理。
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