[发明专利]一种多层钛膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910458172.6 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110055505A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 杨泽宇;刘渊;郭仪;胡雪丰;杨柏超 | 申请（专利权）人： | 成都柔电云科科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层钛膜及其制备方法，所述多层钛膜包括：基材以及附着于基材上的金属层，所述基材为绝缘塑料薄膜，其厚度为0.5~15um；所述金属层包括第一金属层、第二金属层及第三金属层，所述第一金属层、第二金属层及第三金属层均采用金属钛实现；所述第一金属层的厚度为30~50nm，第一金属层附着于基材绝缘塑料薄膜上；所所述第二金属层的厚度为70~120nm，第二金属层附着于第一金属层上；所述第三金属层的厚度为30~50nm，第三金属层附着于第二金属层上。本方案通过三次溅射形成的纯钛多层膜，具备了普通多层膜的高韧性、高耐性、高稳定性的力学性质。 | ||
| 搜索关键词： | 金属层 第二金属层 第一金属层 基材 附着 多层 钛膜 绝缘塑料薄膜 多层膜 制备 高稳定性 力学性质 高耐性 高韧性 金属钛 纯钛 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种多层钛膜，其特征在于，包括：基材以及附着于基材上的金属层，所述基材为绝缘塑料薄膜，其厚度为0.5~15um；所述金属层包括第一金属层、第二金属层及第三金属层，所述第一金属层、第二金属层及第三金属层均采用金属钛实现；所述第一金属层的厚度为30~50nm，第一金属层附着于基材绝缘塑料薄膜上；所所述第二金属层的厚度为70~120nm，第二金属层附着于第一金属层上；所述第三金属层的厚度为30~50nm，第三金属层附着于第二金属层上。
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