[发明专利]生物传感用微针及其制造方法在审
| 申请号： | 201910459323.X | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110693503A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 李岩;张航;埃里克J.M.布隆迪尔;崔波 | 申请（专利权）人： | 淄博探微纳米科技有限责任公司 |
| 主分类号： | A61B5/15 | 分类号： | A61B5/15 |
| 代理公司： | 33261 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李品 |
| 地址： | 255000 山东省淄博市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种生物传感用微针及其制造方法。所述方法包括在基板的宽面上沉积至少一层光刻胶，并且所述光刻胶随后被图案化以确定所述微针的特征。以深反应离子蚀刻（DRIE）的形式进行的第一次蚀刻处理用于将所述基板蚀刻到所述蚀刻深度小于所述基板总深度的第一结构中，以产生至少一个与所述光刻胶下所述基板部分相邻的牺牲特征。随后以各向同性湿法蚀刻的所述形式进行第二次蚀刻处理，其中至少一个所述牺牲特征的蚀刻使蚀刻速率沿所述微针的所述长度逐渐变化，从而使所述微针尖变锋利。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 光刻胶 基板 微针 蚀刻处理 各向同性湿法蚀刻 深反应离子蚀刻 基板蚀刻 生物传感 逐渐变化 图案化 微针尖 沉积 锋利 制造 | ||
【主权项】：
1.一种生物传感用微针的制造方法，所述方法包括：/n提供一种半导体基板；/n将第一光刻胶施加到所述基板的第一表面；/n将第一光刻胶图案化以确定第一蚀刻图案；/n对所述基板进行第一次蚀刻处理，所述第一次蚀刻图案使所述基板被蚀刻成第一结构，所述第一结构包括至少一个牺牲特征；以及/n在所述第一结构上进行第二次蚀刻处理，以将所述第一结构蚀刻成第二结构，其中在所述第二次蚀刻处理期间至少一个牺牲特征被至少部分蚀刻，导致所述针的一个或多个特征被蚀刻到所述第二结构中。/n
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