[发明专利]一种基于还原氧化石墨烯湿敏薄膜的湿度传感器、制备及使用方法在审
申请号: | 201910460772.6 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN110146555A | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 朱晓璐;侯伟盛;徐春望;范梓怀 | 申请(专利权)人: | 河海大学常州校区 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;C01B32/184 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 213022 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于还原氧化石墨烯湿敏薄膜的湿度传感器,包括轻质上盖、二氧化硅衬底、湿敏传感元件、湿敏薄膜电阻检测器件、电路信号线和底座,湿敏传感元件包括还原氧化石墨烯基湿敏薄膜和叉指金电极;可以通过检测蒸腾作用释放出的水分子来检测植物的蒸腾作用并进行评定;同时还提供了其使用方法,以及还原氧化石墨烯湿敏薄膜的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 还原氧化石墨烯 湿敏薄膜 湿敏传感元件 湿度传感器 蒸腾作用 制备 检测 叉指金电极 电路信号线 薄膜电阻 二氧化硅 水分子 衬底 轻质 上盖 底座 评定 释放 | ||
【主权项】:
1.一种基于还原氧化石墨烯湿敏薄膜的湿度传感器,其特征在于,包括轻质上盖、二氧化硅衬底、湿敏传感元件、湿敏薄膜电阻检测器件、电路信号线和底座,所述轻质上盖的上表面设有镂空透气孔,下表面设有穿线孔,所述湿敏传感元件包括还原氧化石墨烯基湿敏薄膜和叉指金电极,所述还原氧化石墨烯基湿敏薄膜置于叉指金电极的上表面,所述叉指金电极置于二氧化硅衬底的上表面,所述二氧化硅衬底置于湿敏薄膜电阻检测器件的上表面,所述湿敏薄膜电阻检测器件置于底座上,所述湿敏薄膜电阻检测器件通过导线分别与叉指金电极的两个引脚相连,所述电路信号线一端连接湿敏薄膜电阻检测器件,另一端从穿线孔引出并连接计算机或微处理器。
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