[发明专利]一种蒸发源组件及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201910461148.8 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110079769A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘锦东;胡海芳;李国强;张志强 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸发源组件及蒸镀装置，该蒸发源组件包括：至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件，角度板组件包括垂直于蒸发源顶面的多个并排设置的固定板，多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道，角度板组件形成的蒸发通道与蒸发源一一对应；每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，蒸发源的喷嘴位于蒸发通道内，且与喷嘴紧邻的固定板上设有朝向蒸发通道内部延伸的遮挡板，且相对于蒸发源的顶面，遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于喷嘴顶端。该蒸发源组件中利用遮挡板限定喷嘴的蒸发角度，减小固定板的厚度，增加了蒸镀材料在角度板组件中的沉积空间，缓解蒸镀材料堵塞喷嘴的问题，增加连续生产时间，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发通道 蒸发源 固定板 蒸发源组件 喷嘴 角度板 遮挡板 并排设置 蒸镀材料 蒸镀装置 沉积空间 内部延伸 喷嘴顶端 组件包括 组件形成 自由端 产能 顶面 减小 伸入 蒸镀 蒸发 垂直 堵塞 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源组件，其特征在于，包括：至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件，所述角度板组件包括垂直于所述蒸发源顶面的多个并排设置的固定板，所述多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道，且所述角度板组件形成的所述蒸发通道与所述蒸发源一一对应；每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，所述蒸发源的喷嘴位于所述蒸发通道内，且与所述喷嘴紧邻的固定板上设有朝向所述蒸发通道内部延伸的遮挡板，所述遮挡板用于限定所述喷嘴的蒸发角度，且相对于所述蒸发源的顶面，所述遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于所述喷嘴顶端。
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