[发明专利]实现大深径比加工的激光头装置

摘要

本发明公开了一种实现大深径比加工的激光头装置，包括光束传输变换机构，光束传输变换机构将激光器发出的激光束转换为作用在工件表面上的无衍射聚焦光束，光束传输变换机构包括扩束组件和轴锥镜组合模块；一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的正轴锥镜Ⅰ和单筒望远镜；另一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的正轴锥镜Ⅰ和参数一致且镜像对称的正轴锥镜Ⅱ与正轴锥镜Ⅲ；再一种轴锥镜组合模块包括沿光路同轴设置的负轴锥镜和参数一致且镜像对称的正轴锥镜Ⅳ和正轴锥镜Ⅴ。本发明利用轴锥镜组合模块来生成具有一定工作距离的无衍射聚焦光束，利用无衍射聚焦光束的特性，提高聚焦光束的质量，获得较小的聚焦中心光斑及更长的准直区。

主权项

1.实现大深径比加工的激光头装置，包括光束传输变换机构(3)，所述光束传输变换机构(3)将激光器发出的激光束(1)转换为作用在工件(2)表面上的无衍射聚焦光束(5)，所述光束传输变换机构(3)包括扩束组件(4)和轴锥镜组合模块(6)，所述扩束组件(4)将激光束(1)扩展为平行的高斯光束(16)，其特征在于：所述轴锥镜组合模块(6)包括沿光路同轴设置的正轴锥镜Ⅰ(7)和单筒望远镜(8)，所述正轴锥镜Ⅰ(7)将高斯光束(16)转换为无衍射光束(14)，所述单筒望远镜(8)将无衍射光束(14)转换成为无衍射聚焦光束(5)，所述无衍射聚焦光束(5)形成的无衍射聚焦区域与单筒望远镜(8)之间的距离为无衍射聚焦光束(5)的工作距离。