[发明专利]基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201910463125.0 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110181334B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 潘永成;赵清亮;郭兵;王生;吴小桥 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B23Q17/20 | 分类号： | B23Q17/20;G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 于歌 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置及其检测方法，属于自由曲面光学元件超精密加工技术领域，本发明为解决现有自由曲面光学元件面形误差检测装置采用离线检测方式导致精度低、效率差的问题。基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置，X轴和Z轴为水平面上的两个轴，Y轴为垂直于水平面的纵向轴，旋转轴安装在Y轴移动台上，旋转轴上安装有真空吸盘，待测自由曲面光学元件安装在真空吸盘上，白光共焦测头通过夹具安装在Z轴移动台上，白光共焦测头的出射光平行于Z轴移动台，且出射光穿过旋转轴的中心线，白光共焦测头的检测数据经由控制器传输至机床工控机。本发明用于对自由曲面光学元件进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 原理 自由 曲面 光学 元件 误差 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.基于白光共焦原理的自由曲面光学元件面形误差在机检测装置，其特征在于，该检测装置包括X轴移动台(1)、Y轴移动台(2)、Z轴移动台(3)、旋转轴(4)、真空吸盘(5)、白光共焦测头(6)、夹具(7)、控制器(9)和机床工控机(10)；X轴和Z轴为水平面上的两个轴，Y轴为垂直于水平面的纵向轴，旋转轴(4)安装在Y轴移动台(2)上，旋转轴(4)上安装有真空吸盘(5)，待测自由曲面光学元件(8)安装在真空吸盘(5)上，白光共焦测头(6)通过夹具(7)安装在Z轴移动台(3)上，白光共焦测头(6)的出射光平行于Z轴移动台(3)，且出射光穿过旋转轴(4)的中心线，白光共焦测头(6)的检测数据经由控制器(9)传输至机床工控机(10)。
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