[发明专利]光学检测装置在审
申请号: | 201910464853.3 | 申请日: | 2019-05-30 |
公开(公告)号: | CN110108720A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 李俊 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215125 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种光学检测装置,包括:照明系统、检测系统和控制系统;照明系统包括用于明场照明的第一光源、用于暗场照明的第二光源以及用作背光源的第三光源;控制系统包括光源控制子系统,光源控制子系统用于控制第一光源按照第一脉冲序列提供照明、第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及第三光源按照第三脉冲序列提供照明;第一脉冲序列、第二脉冲序列和第三脉冲序列的脉冲信号依次重复设置且不交叠;控制系统还包括检测控制子系统,检测控制子系统用于控制检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号;第四脉冲序列的各脉冲信号分别在第一脉冲序列、第二脉冲序列以及第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内。如此,可降低检测耗时,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 脉冲序列 光源 控制系统 脉冲信号 光学检测装置 控制子系统 光源控制 照明系统 检测 控制检测系统 暗场照明 检测系统 检测信号 明场照明 重复设置 背光源 交叠 耗时 | ||
【主权项】:
1.一种光学检测装置,其特征在于,包括:照明系统、检测系统和控制系统;所述照明系统和所述检测系统分别与所述控制系统电连接;所述照明系统包括第一光源、第二光源以及第三光源;所述第一光源用于明场照明,所述第二光源用于暗场照明,所述第三光源用作背光源;所述控制系统包括光源控制子系统,所述光源控制子系统用于控制所述第一光源按照第一脉冲序列提供照明、控制所述第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及控制第三光源按照第三脉冲序列提供照明;所述第一脉冲序列包括多个第一脉冲信号,所述第二脉冲序列包括多个第二脉冲信号,所述第三脉冲序列包括多个第三脉冲信号,所述第一脉冲信号、所述第二脉冲信号、所述第三脉冲信号依次重复设置且不交叠;所述控制系统还包括检测控制子系统,所述检测控制子系统用于控制所述检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号;所述第四脉冲序列的各脉冲信号分别在所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内;所述检测系统包括信号获取子系统,所述信号获取子系统用于按照所述第四脉冲序列依次获取与所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列分别对应的所述检测信号。
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