[发明专利]一种掺杂铌元素的银锡薄膜共晶焊料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910465543.3 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN110129617B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 宋忠孝;特日格乐;张宏凯;李雁淮;李响 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C22C13/00 分类号: C22C13/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02;B23K35/26
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 范巍
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种掺杂铌元素的银锡薄膜共晶焊料及其制备方法。首先对基板材料进行化学清洗,然后利用磁控溅射技术在基板上沉积掺杂铌的银锡薄膜层,即掺杂铌元素的银锡薄膜共晶焊料。相对传统的熔炼技术,本发明显著的简化了三元无铅焊料的制备流程,制备周期短,可精确控制焊料成分,节能环保,具有良好的工艺性能。本发明制备的掺杂铌元素的银锡薄膜共晶焊料成本低廉、熔点低,焊接性能良好,可广泛应用于微电子封装中。
搜索关键词: 一种 掺杂 元素 薄膜 焊料 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种掺杂铌元素的银锡共晶焊料,其特征在于:该焊料按质量分数计包括2.5%~5%的铌、10%~16%的银以及83%~85%的锡,其中,所述铌作为掺杂元素分散于银锡共晶体内。
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