[发明专利]一种基于膜厚检测的形状精度检测方法

摘要

本发明公开了一种基于膜厚检测的形状精度检测方法，涉及形状精度检测技术领域，包括：以下步骤，步骤二，旋涂透明薄膜：将工件放置于旋涂仪上，利用旋涂仪在工件表面旋涂一层透明薄膜；步骤三，检测工件表面形状精度和表面粗糙度：将旋涂好的工件放在膜厚检测平台上，利用膜厚测量仪检测工件表面各个位置(x_i,y_i)处的薄膜厚度T_i，并记录(x_i，y_i，T_i)，根据测得的多个薄膜厚度值，得到工件表面的最大厚度T_max和最小厚度T_min，并记录(x_i，y_i，T_min‑T_i)，进而计算出工件表面的形状精度和表面粗糙度，以克服现有的接触式测量法法在测量过程中容易划坏工件表面和检测结果不准确的缺陷，从而避免工件在检测过程中被划坏，且能够提高检测结果的准确性。

主权项

1.一种基于膜厚检测的形状精度检测方法，其特征在于：包括以下步骤，步骤二，旋涂透明薄膜：将工件放置于旋涂仪上，然后利用所述旋涂仪在所述工件表面旋涂一层透明薄膜；步骤三，检测所述工件表面形状精度和表面粗糙度：将旋涂好的所述工件放在膜厚检测平台上，利用膜厚测量仪检测所述工件表面各个位置(x_i,y_i)处的薄膜厚度T_i，并记录(x_i，y_i，T_i)，根据测得的多个薄膜厚度值，得到所述工件表面的最大厚度T_max和最小厚度T_min，然后将检测的每一位置的薄膜厚度减去T_min，并记录(x_i，y_i，T_min‑T_i)，进而计算出所述工件表面的形状精度和表面粗糙度。