[发明专利]一种3D结构光产生元件

摘要

本发明一种3D结构光产生元件属于光学元件、结构光技术领域；该3D结构光产生元件包含一个衬底结构和由衬底结构支撑的多个子结构，所述子结构在衬底表面成矩阵排列，在矩阵的行方向和列方向上，相邻两个子结构在衬底上坐标的距离为定值，所述子结构的尺寸相同，转角不同，子结构的转角和相位之间具有确定关系；本发明利用尺寸相同转角不同的子结构来代替传统衍射光学元件中具有不同高度的台阶结构，由于高度相同，因此只需要一次加工即可完成，这样能够提高加工精度；由于转角能够随相位连续变化，因此忽略光在材料中的损耗，该3D结构光产生元件的衍射效率不受理论限制；即本发明能够同时提高衍射效率和加工精度。

主权项

1.一种3D结构光产生元件，通过单次投影曝光、原子层沉积和刻蚀工艺加工而成，其特征在于，包含一个衬底结构和由衬底结构支撑的多个子结构，所述子结构在衬底表面成矩阵排列，在矩阵的行方向和列方向上，相邻两个子结构在衬底上坐标的距离为定值，所述子结构的尺寸相同，转角不同，子结构在绕衬底坐标(x,y)法线的转角θ和子结构在衬底坐标(x,y)处对应的相位φ(x,y)之间满足如下关系：其中，m为任意整数，φ_θ＝0为θ＝0时子结构在衬底坐标(x,y)处对应的相位。