[发明专利]基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台在审
申请号: | 201910469919.8 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN110189791A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 李建明;王国伟;沈显峰;陈金明;党永坤 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 熊曦 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台,所述微纳平台包括:平台(1)、压电陶瓷驱动器(2)、连接块(3)、第一固定端(5)、第二固定端(6)、第一放大杠杆(7)、第二放大杠杆(8)、第一连接板簧(9)、第二连接板簧(10)、导向板簧(11)、中心平台(12)、光栅读数头(13)、光栅玻璃尺(14)、第一压块(15)、第二压块(16)、支架(17)、预紧弹簧(18)、预紧螺钉(19);通过本微纳平台的可调节方式能够对存在的缺陷进行补偿。 | ||
搜索关键词: | 放大杠杆 转角误差 固定端 可调节 连接板 预紧 压电陶瓷驱动器 光栅读数头 可调节方式 导向板簧 第一压块 光栅玻璃 预紧弹簧 预紧螺钉 中心平台 压块 支架 | ||
【主权项】:
1.基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台,其特征在于,所述微纳平台包括:平台(1)、压电陶瓷驱动器(2)、连接块(3)、第一固定端(5)、第二固定端(6)、第一放大杠杆(7)、第二放大杠杆(8)、第一连接板簧(9)、第二连接板簧(10)、导向板簧(11)、中心平台(12)、光栅读数头(13)、光栅玻璃尺(14)、第一压块(15)、第二压块(16)、支架(17)、预紧弹簧(18)、预紧螺钉(19);平台(1)相邻两个侧边设有两个箱体的第一结构,其中一个第一结构为:平台(1)侧边设有容纳压电陶瓷驱动器(2)的空心腔,压电陶瓷驱动器(2)两端分别与2个连接块(3)各自的一端接触,2个连接块(3)各自的另一端分别与第一固定端(5)和第二固定端(6)配合,第一固定端(5)和第二固定端(6)的外侧分别通过铰链与第一放大杠杆(7)的一端和第二放大杠(8)杆的一端连接,第一放大杠杆(7)和第二放大杠杆(8)的外侧端面均通过铰链与平台(1)基体连接,第一放大杠杆(7)的另一端和第二放大杠杆(8)另一端面分别与第一连接板簧(9)的一端和第二连接板簧(10)的一端连接,第一连接板簧(9)的另一端和第二连接板簧(10)另一端均与中心平台(12)的中心位置连接,中心平台(12)的每个端角分别通过导向板簧(11)与平台(1)的基体连接;平台(1)远离容纳压电陶瓷驱动器(2)空心腔的相邻两边分别设置有第二结构,其中一个第二结构为:平台(1)远离容纳压电陶瓷驱动器(2)空心腔的侧边设置有一个光栅读数头(13),与第一放大杠杆(7)和第二放大杠杆(8)外侧相对的平台(1)基体内部分别设有容纳预紧弹簧(18)和预紧螺钉(19)的螺纹孔,所述预紧弹簧(18)一端与第一放大杠杆(7)或第二放大杠杆(8)外端面接触,所述预紧弹簧(18)的另一端与预紧螺钉(19)里端接触。
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