[发明专利]一种超临界二氧化碳深冷处理方法及其装置和气体回用系统

摘要

本发明公开了一种超临界二氧化碳深冷处理方法及其装置和气体回用系统，该深冷处理装置包括深冷炉和若干自炉外伸入炉内且均布在工件之间的射流管，若干射流管均与总进气管连通；还包括：设置于总进气管内的第一热电偶、第一压力表和第一流量计；对应设置于工件的中心位置的第二热电偶及表面位置的第三热电偶；设置于深冷炉顶部的排气管内的第二压力表和第二流量计；以及设置于深冷炉内部工作区的第三压力表和第四热电偶。采用本发明装置的超临界二氧化碳深冷处理方法，通过调节超临界二氧化碳的的初始温度、压力和流量，从而调节工件的冷却速率，实现工件的可控冷却，保证了工件在进行深冷时的稳定性、均匀性、精确性和灵敏性。

主权项

1.一种超临界二氧化碳深冷处理装置，包括深冷炉和若干自炉外伸入炉内且均布在工件(16)之间的射流管(1)，若干所述射流管(1)均与总进气管(5)连通；其特征在于，还包括：一一设置于所述总进气管(5)内的第一热电偶(3)、第一压力表(4)和第一流量计(6)；一一对应设置于所述工件(16)的中心位置的第二热电偶(7)及表面位置的第三热电偶(8)；一一设置于所述深冷炉顶部的排气管内的第二压力表(13)和第二流量计(14)；以及一一设置于所述深冷炉内部工作区的第三压力表(18)和第四热电偶(19)；其中，各热电偶、压力表及流量计分别连接数据采集和控制系统，所述采集和控制系统根据各所述热电偶、压力表及流量计监测的温度、压力以及气体流量数据，调节所述深冷炉内二氧化碳的流量和压力，以控制深冷过程的速度和工件(16)的温度。