[发明专利]用于实时监测穿过质量流量控制器的流量的系统以及方法

摘要

一种质量流量控制器，包括：第一流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；第二流量计量仪，其被构造和布置为测量穿过质量流量控制器的质量的流率；控制阀，其被构造和布置为：响应于根据如由流量计量仪中的一个流量计量仪测量到的流率所产生的控制信号而控制穿过质量流量控制器的质量的流率；系统控制器，其被构造和布置为：产生控制信号，并且当如由第一流量计量仪测量到的质量的流率与如由第二流量计量仪测量到的质量的流率之间的差异超过阈值时提供指示。

主权项

1.一种质量流量控制器，包括：第一流量计量仪，用于在过程运行期间实时地测量穿过该质量流量控制器的气体的质量的流率，以产生代表穿过该质量流量控制器所测量的流率的第一流量测量信号；差分压力流量计量仪，包括：(i)布置在该质量流量控制器的流动路径内的流量限制器；(ii)压力传感器，用于检测在该流量限制器的上游在该质量流量控制器的流动路径内的压力；以及(iii)温度传感器，用于检测在该流量限制器的上游的所述流动路径的温度；其中，该差分压力流量计量仪用于测量穿过该质量流量控制器的气体的质量的流率，并且基于来自该温度传感器与压力传感器的数据生成作为输出的第二流量测量信号；控制阀，用于响应于控制信号而控制穿过该质量流量控制器的该气体的质量的流率，其中该控制信号是根据由上述流量测量仪中的一个在该过程运行期间测量的流率而产生的；以及系统控制器，用于分别接收由该第一流量计量仪与差分压力流量计量仪产生的该第一流量测量信号与第二流量测量信号，产生该控制信号，并提供报警信号，该报警信号指示该第一流量测量信号与第二流量测量信号之间的差异何时超过了预定的阈值。