[发明专利]薄型基板的制造方法

摘要

本发明提供使用了用于将应加工背面的基板临时粘合至支撑体的基板加工用临时粘合膜的薄型基板的制造方法，其特征在于，所述临时粘合膜含有重均分子量为3,000～500,000的含硅氧烷键聚合物10质量％以上100质量％以下，其同时包括：(a)在基板的不是应加工面的表面或支撑体的至少任意一个面上层压所述临时粘合膜的工序；(b)在减压下进行接合的工序；(c)进行磨削或研磨来处理基板的工序；(d)使用酸或碱处理基板的工序；(e)实施其他加工的工序；(f)将实施了加工的基板从支撑体剥离的工序；(g)清洗基板的工序。由此，提供基板与支撑体的临时粘合容易且可酸、碱处理，与支撑体的剥离也容易的薄型基板的制造方法。

主权项

1.一种薄型基板的制造方法，其中，使用了用于将应加工背面的基板临时粘合至支撑体的基板加工用临时粘合膜，其特征在于，/n所述基板加工用临时粘合膜相对于100质量份的总质量，含有10质量份以上100质量份以下的、重均分子量为3,000～500,000的含硅氧烷键的聚合物，/n所述薄型基板的制造方法包括全部下述(a)～(g)工序：/n(a)在所述基板的不是应加工面的表面或所述支撑体的至少任意一个面上层压所述基板加工用临时粘合膜的工序；/n(b)经由在工序(a)中层压的基板加工用临时粘合膜，在减压下将所述基板与所述支撑体接合的工序；/n(c)磨削或研磨所述基板的应加工面从而处理基板的工序；/n(d)对所述基板的应加工面使用酸或碱从而处理基板的工序；/n(e)对所述基板的应加工面实施除磨削、研磨、酸处理、碱处理以外的加工的工序；/n(f)将实施了该加工的所述基板从所述支撑体剥离的工序；/n(g)清洗所述基板的工序。/n