[发明专利]一种干膜光阻剂

摘要

本发明提供了一种干膜光阻剂，其包含以下组分：高分子粘合剂A，活性单体B，自由基引发剂C1，阳离子引发剂C2，热聚合抑制剂，紫外光吸收剂，以及增塑剂；该活性单体B至少包含活性单体B1、B2和B3；活性单体B1的结构式为：X表示‑CH2CH2O‑，Y表示‑CH2‑CH(CH3)O‑或‑CH(CH3)CH2O‑，m表示1～15的整数，n表示0～15的整数；活性单体B2的结构式为：表示‑CH2CH2O‑，Y表示‑CH2‑CH(CH3)O‑或‑CH(CH3)CH2O‑，m表示1～25的整数，n表示1～25的整数；活性单体B3的结构式为：该阳离子引发剂C2选自烷基硫鎓盐C21、三芳基硫鎓盐C22、二芳基碘鎓盐C23中的至少一种。采用该水溶液显影的干膜光阻剂，能够在普通UV平行光源下形成较精密的线路，且在电镀金工艺和选择性化学沉金工艺上均有优异的表现。

主权项

1.一种干膜光阻剂，其特征在于，包含以下组分：高分子粘合剂A，活性单体B，自由基引发剂C1，阳离子引发剂C2，热聚合抑制剂，紫外光吸收剂，以及增塑剂；其中，所述活性单体B至少包含活性单体B1、B2和B3；其中，活性单体B1的结构式为：在活性单体B1中，X表示‑CH₂CH₂O‑，Y表示‑CH₂‑CH(CH₃)O‑或‑CH(CH₃)CH₂O‑，m表示1～15的整数，n表示0～15的整数；其中，活性单体B2的结构式为：在活性单体B2中，X表示‑CH₂CH₂O‑，Y表示‑CH₂‑CH(CH₃)O‑或‑CH(CH₃)CH₂O‑，m表示1～25的整数，n表示1～25的整数；其中，活性单体B3的结构式为：其中，所述阳离子引发剂C2选自烷基硫鎓盐C21、三芳基硫鎓盐C22、二芳基碘鎓盐C23中的至少一种。