[发明专利]光学元件及其制造方法有效
申请号: | 201910481237.9 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN110989081B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 郑圣传;陈浩民;林绮涵;吴翰林 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/136 | 分类号: | G02B6/136;G02B6/122 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李琛;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种光学元件的制造方法,包括:提供一基板;形成复数个金属栅于该基板上;形成一有机层于该基板与该等金属栅上;蚀刻该有机层,以形成一第一图案化有机层以及复数个第一沟槽,该第一图案化有机层包括复数个第一突出部,其包围该等第一沟槽;以及蚀刻该第一图案化有机层,以形成一第二图案化有机层以及复数个第二沟槽,该第二图案化有机层包括复数个第二突出部,其包围该等第二沟槽,其中每一第二突出部覆盖一金属栅,且该第二图案化有机层的一第二突出部的该中心轴与该第二图案化有机层的该第二突出部所覆盖的一金属栅的该中心轴之间具有一距离。 | ||
搜索关键词: | 光学 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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