[发明专利]具有应力均衡器的CSOI MEMS压力感测元件有效
| 申请号： | 201910481284.3 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110553764B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | J-H.A.邱;S-H.S.陈 | 申请（专利权）人： | 纬湃科技美国有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 隋晓平 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力感测元件，其包括支撑衬底，该支撑衬底包括腔。装置层结合到支撑衬底，其中装置层的隔膜以密封方式覆盖腔。多个压电电阻器联接到隔膜。多个金属应力均衡器安置在装置层上，使得每个应力均衡器大致邻近于对应的压电电阻器但与其分离。多个金属结合焊盘安置在装置层上。多个应力均衡器被构造和布置成减小由在压力感测元件的冷却和加热循环期间金属结合焊盘的应力松弛所导致的压力感测元件的热滞后。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 均衡器 csoi mems 压力 元件 | ||
【主权项】：
1.一种压力感测元件，所述压力感测元件包括：/n支撑衬底，所述支撑衬底包括腔；/n装置层，所述装置层结合到所述支撑衬底，其中所述装置层的隔膜以密封方式覆盖所述腔；/n多个压电电阻器，所述多个压电电阻器联接到所述隔膜；/n多个金属应力均衡器，所述多个金属应力均衡器安置在所述装置层上，使得每个应力均衡器大致邻近于对应的压电电阻器但与对应的压电电阻器分离，以及/n多个金属结合焊盘，所述多个金属结合焊盘安置在所述装置层上，/n其中，所述多个应力均衡器被构造和布置成减小由在所述压力感测元件的冷却和加热循环期间所述金属结合焊盘的应力松弛所导致的所述压力感测元件的热滞后。/n
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