[发明专利]一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法

摘要

本发明涉及涂层制备工艺技术领域，具体公开了一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；在真空室外壁装六个矩形磁控靶，三个所述磁控靶采用石墨，两个所述磁控靶采用铬或钛，一个所述磁控靶采用银；利用高纯氩气作为工作气体进行溅射过程，利用射频电极离化高纯氩气，在基材的表面最终形成类金刚石涂层，其中掺杂有银的纳米颗粒。该具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，利用溅射工艺在金属基材上制备出具有高附着力和高耐磨性的类金刚石涂层，并掺杂有银纳米颗粒，具有抗菌功能。

主权项

1.一种具有抗菌和高耐磨性能的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将工件经清洗干净并干燥后，放入真空室内的工件架中，然后用机械泵和涡轮分子泵把真空腔室抽至高真空；步骤二：在真空室外壁装六个矩形磁控靶，对称排列，用水冷方式进行循环冷却，相邻磁控靶的磁极相反，三个所述磁控靶采用石墨，两个所述磁控靶采用铬或钛，一个所述磁控靶采用银，利用脉冲电源施加偏压；步骤三：利用高纯氩气作为工作气体进行溅射过程，利用射频电极离化高纯氩气，在基材的表面最终形成类金刚石涂层，其中掺杂有银的纳米颗粒。