[发明专利]一种紫外波段多波长探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910485712.X | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110164993A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘可为;朱勇学;陈星;张振中;李炳辉;申德振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/0296 | 分类号： | H01L31/0296;H01L31/108;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 付丽 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了紫外波段多波长探测器，包括依次叠加设置的衬底、ZnO导电层薄膜、MgxZn1‑xO有源层和肖特基接触电极；所述MgxZn1‑xO有源层中的x表示有源层中Mg的含量，x与厚度d呈函数关系。本申请提供的紫外波段多波长探测器利用宽带隙材料对紫外光吸收的特点，设置了非单一组分MgxZn1‑xO有源层，实现了探测器不同区域对不同波长紫外光的吸收，进而通过肖特基接触的办法在表面区域建立空间电荷区，通过外部偏压调节对不同区域载流子的收集效率。本发明提供的紫外波段多波长探测器结构简单，肖特基结器件避开了ZnO基材料p型掺杂的困难。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外波段 多波长 探测器 源层 肖特基接触 波长紫外光 导电层薄膜 空间电荷区 宽带隙材料 区域载流子 探测器结构 紫外光吸收 函数关系 偏压调节 收集效率 肖特基结 依次叠加 电极 衬底 制备 避开 外部 申请 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种紫外波段多波长探测器，包括依次叠加设置的衬底、ZnO导电层薄膜、MgxZn1‑xO有源层和肖特基接触电极；所述MgxZn1‑xO有源层中的x表示有源层中Mg的含量，x与所述MgxZn1‑xO有源层的厚度d呈函数关系。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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