[发明专利]传输机械臂有效
| 申请号： | 201910486408.7 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110155721B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 祝福生;王文丽;夏楠君;王刚;郭立刚 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械手技术领域，尤其是涉及一种传输机械臂。包括：夹取机构、升降机构和平移机构；夹取机构连接在升降机构的升降端，升降机构与平移机构连接，以使夹取机构能够沿水平方向和竖直方向移动；夹取机构包括底座、第一支臂、第二支臂、第一夹持部和第二夹持部；底座与升降机构的升降端连接，第一支臂和第二支臂的一端均设在底座上，且第一支臂和第二支臂能够相对或相向运动，以使连接在第一支臂远离底座的一端的第一夹持部与连接在第二支臂底座一端的第二夹持部将晶圆夹持或将晶圆卸下；第一夹持部和第二夹持部与晶圆的接触部上均设有多个导槽。以缓解现有技术中存在的现有机械臂若直接对晶圆进行夹持时，容易将晶圆划伤的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 机械 | ||
【主权项】：
1.一种传输机械臂，用于设在无片盒湿化学清洗设备，其特征在于，包括：夹取机构、升降机构和平移机构；所述夹取机构连接在所述升降机构的升降端，所述升降机构与所述平移机构连接，以使所述夹取机构能够沿水平方向和竖直方向移动；所述夹取机构包括底座、第一支臂、第二支臂、第一夹持部和第二夹持部；所述底座与所述升降机构的升降端连接，所述第一支臂和所述第二支臂的一端均设在所述底座上，且所述第一支臂和所述第二支臂能够相对或相向运动，以使连接在所述第一支臂远离所述底座的一端的第一夹持部与连接在所述第二支臂所述底座一端的第二夹持部将晶圆夹持或将晶圆卸下；所述第一夹持部和第二夹持部与所述晶圆的接触部上均设有多个导槽。
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