[发明专利]两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工方法及装置在审
| 申请号： | 201910489008.1 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110170716A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王明环;商勇超;何凯磊;王芯蒂;许雪峰;陈国达 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B23H11/00 | 分类号： | B23H11/00;B23H3/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工方法，保持工具阴极上微凸台与工件表面有一定的加工间隙，轴向和径向的振动分别由不同的超声电源控制，在轴向超声振动作用下，工具阴极对所加工微结构在轴向对应的侧壁进行二次电解加工；同时超声振动装置在旋转卡盘的带动下进行一定角速度的旋转，带动工具电极在旋转方向对所加工微结构的侧壁进行二次电解加工；加工时电解液充满加工间隙，电解产物在超声振动作用下被及时排出；通过轴向及径向的超声振动及工具阴极的旋转的共同作用，实现了对所加工微结构的所有侧壁及底部的完整加工。以及提供一种两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工装置。本发明提高了电解加工的精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 轴向 加工 超声振动辅助 微细电解加工 工具阴极 微结构 侧壁 超声振动作用 二次电解 加工间隙 超声振动装置 超声电源 超声振动 电解产物 电解加工 工件表面 工具电极 旋转卡盘 电解液 排出 微凸 | ||
【主权项】：
1.一种两维超声振动辅助滚蚀微细电解加工方法，其特征在于，在圆柱状径向超声振动装置的外圈上加工有具有微凸台结构的阵列微细工具阴极，同时超声振动装置接电源的负极，工件连接电源正极，径向超声振动装置在发生径向振动的同时，带动工具阴极实现径向振动；轴向超声振动换能器带动阵列工具阴极作轴向振动；加工时，保持工具阴极上微凸台与工件表面有一定的加工间隙，轴向和径向的振动分别由不同的超声电源控制，在轴向超声振动作用下，工具阴极对所加工微结构在轴向对应的侧壁进行二次电解加工；同时超声振动装置在旋转卡盘的带动下进行一定角速度的旋转，带动工具电极在旋转方向对所加工微结构的侧壁进行二次电解加工；加工时电解液充满加工间隙，电解产物在超声振动作用下被及时排出；通过轴向及径向的超声振动及工具阴极的旋转的共同作用，实现了对所加工微结构的所有侧壁及底部的完整加工。
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