[发明专利]一种感测膜和微机电装置有效
| 申请号： | 201910489521.0 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110002394B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凯;罗松成 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 齐则琳;张雷 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电技术领域，尤其涉及一种感测膜和微机电装置。所述感测膜包括应力分散部和感测部，所述应力分散部包括多个呈平面状的振动弹簧，所述振动弹簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧和第二半簧交错连接。微机电装置采用了上述的感测膜。本发明的感测膜和微机电装置具有消除应力效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 感测膜 微机电装置 应力分散部 振动弹簧 消除应力效果 微机电技术 交错连接 感测部 平面状 | ||
【主权项】：
1.一种感测膜，应用于微机电装置中，其特征在于：所述感测膜包括应力分散部和感测部，所述应力分散部包括多个呈平面状的振动弹簧，多个所述振动弹簧包括交替设置的第一振动弹簧和第二振动弹簧，每一所述振动弹簧包括第一半簧和第二半簧，所述第一半簧上开设至少两个位于不同圆周或直线上的第一开槽，所述第二半簧上开设至少两个位于不同圆周或直线上的第二开槽，所述每一第一开槽和相应的一个第二开槽位于同一圆周或直线上，至少一个第一开槽和相邻圆周或直线上的一个第二开槽连通，所述第一振动弹簧的第奇数个第二开槽和第二振动弹簧的第奇数个第一开槽连通，所述第一振动弹簧的第偶数个第二开槽和第一振动弹簧的第偶数个第一开槽断开。
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