[发明专利]用于等离子体腔室内部的部件及其制作方法

摘要

本申请提供一种用于等离子体腔室内部的部件及其制作方法，其中，等离子体腔室内部的部件上设置有涂层形，所述涂层包括稀土元素的氟氧化物，化学式为RexOyFz(x≠0，y≠0，z≠0)，其中，Re为稀土元素，且所述RexOyFz为结晶相。由于其结构为结晶相，具有特定的结构，使得涂层具有一定的结构稳定性，在服役过程中，能够保持结构稳定性，从而降低涂层开裂风险，能够保持腔体刻蚀环境的稳定性。另，使用稀土元素的氟氧化物作为等离子体刻蚀腔体的保护材料，能够满足不同刻蚀制程，如同时耐CF4和O2等离子体腐蚀的需求，适用范围更广，而且能够提高连续生产效率，由于无需经常更换部件，从而还能够降低生产成本。