[发明专利]一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法有效
| 申请号： | 201910491332.7 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110360923B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 辛青;李泾渭;侯昌伦 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法；相移干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机，所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上，所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测，所述镜面旋转器位于被测物底部；通过旋转被侧面的角度达到相移的目的，而不使用传统的相移器，物体无需在轨道上移动，如此便可以节省空间，使干涉仪不在受到长度的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 被测面可 旋转 相移 干涉仪 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种被测面可旋转的相移干涉仪，包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测镜面、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机，其特征在于：所述激光发射器、准直镜、分光器、被测镜面分布与同一轴线上，所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测，所述镜面旋转器位于被测镜面处；激光发射器的出射光线入射到准直镜，准直镜出射的准直光线通过分光器，一部分光线透射过分光器到达被测镜面，另一部分光线由分光器将其反射到参考镜面，这两束光线都由镜面反射回分光器；参考镜面反射回来的光线透射过分束器，测试面反射回的光线经分光器将其反射，此时，这两束光形成干涉，并穿过凸透镜将光线汇聚到CCD相机；其中镜面旋转器旋转调节被测镜面与垂直面之间的角度；所述的被测镜面为单面反射镜面。
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