[发明专利]基于上下非对称栅状电极的光电导型光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于上下非对称栅状电极的光电导型光电探测器。包括由下至上依次叠置而成的绝缘衬底、Ti金属电极、氮化硼薄膜和两个栅状电极，绝缘衬底上表面覆盖有氮化硼薄膜和Ti金属电极，Ti金属电极整体包裹于氮化硼薄膜内，两个栅状电极分别为正栅电极和负栅电极，正栅电极和负栅电极分别位于氮化硼薄膜上表面两侧。在三个电极通电的情况下，Ti金属电极与两个非对称的金属电极之间形成合适的电场，可以改变光电探测器的响应幅度和响应时间，结合氮化硼薄膜特殊的光电特性，实现一种高性能光电探测机制。本发明的探测效果好，结构简单在光电传感领域有很好的应用前景。