[发明专利]一种供气管路和气相沉积设备

摘要

本发明提供一种用于向工艺腔室供气的供气管路，包括反应源和管路组件。该管路组件包括载气管、第一工艺气体管和第二工艺气体管，第一工艺气体管和第二工艺气体管均用于将载气管与反应源选择性地连通。管路组件还包括能够调节供气管路的连通状态的通路调节机构。该通路调节机构包括第一连通管，且第一连通管用于将第一工艺气体管和第二工艺气体管选择性地连通。本发明供气管路的连通状态可调节，能够利用同一供气管路实现不同的工艺，降低生产成本，提高生产效率。且本发明通过设置第一连通管使第一工艺气体管和第二工艺气体管中的残余气体能够在管路组件的吹扫过程中一并被清扫，提高了清扫效率。本发明还提供一种包括该供气管路的气相沉积设备。