[发明专利]一种指纹识别芯片的封装结构及封装方法在审
申请号: | 201910493242.1 | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN110148567A | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 陈彦亨;林正忠 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L25/18;H01L21/98;G06K9/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 刘星 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种指纹识别芯片的封装结构及封装方法,该封装结构包括第一塑封层、再布线层、至少一裸片、指纹识别芯片、第二塑封层、至少一通孔及至少一导电部,其中,再布线层位于第一塑封层上;裸片位于第一塑封层中,且裸片的焊盘与再布线层的导电线路连接;指纹识别芯片装设于再布线层上;第二塑封层位于再布线层上,并包围指纹识别芯片的侧面;通孔位于第一塑封层中,通孔暴露出再布线层的导电线路;导电部位于通孔中,导电部与再布线层的导电线路连接。本发明采用双面塑封扇出型封装实现指纹识别芯片与其它类型裸片的组合封装,不仅提高了制程结构的整合性,还有利于缩小封装尺寸,在半导体封装领域具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 再布线层 指纹识别芯片 塑封层 裸片 导电线路 封装结构 通孔 封装 导电部 半导体封装 扇出型封装 导电部位 双面塑封 组合封装 整合性 焊盘 制程 装设 包围 侧面 暴露 应用 | ||
【主权项】:
1.一种指纹识别芯片的封装结构的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一载体,形成粘附层于所述载体上;提供至少一裸片,将所述裸片具有焊盘的一面粘附于所述粘附层上;形成第一塑封层于所述粘附层上,所述裸片包覆于所述第一塑封层中;去除所述载体及所述粘附层;形成再布线层于所述第一塑封层被去除所述粘附层的一面,所述再布线层的导电线路与所述焊盘连接;提供一指纹识别芯片,将所述指纹识别芯片装设于所述再布线层上;形成第二塑封层于所述再布线层上,所述第二塑封层包围所述指纹识别芯片的侧面;形成至少一通孔于所述第一塑封层中,所述通孔暴露出所述再布线层的导电线路;形成至少一导电部于所述通孔中,所述导电部与所述再布线层的导电线路连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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