[发明专利]纳米压入面积测量装置有效
| 申请号： | 201910494551.0 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110132184B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱振宇;王霁;段小艳 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/28 | 分类号： | G01B11/28 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的纳米压入面积测量装置，属于光学及力学精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学系统模块、信号解调模块、数据处理模块组成。所述光学系统模块中主要由光源，散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。本发明采用稳定功率输出的激光作为测量光源；光束经分光棱镜后进入会聚物镜聚集于纳米压入压头；调控激光光源的功率，散射光经会聚物镜及分光棱镜在测量接收器件获取测量光电信号，根据信号处理纳米压入压头与被测对象间距及面积，通过散射光功率和光斑范围确定纳米压入面积，提高纳米压入面积测量的准确度，具有较高测量对象适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 面积 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.纳米压入面积测量装置，其特征在于：主要由控制系统模块(1)、光学系统模块(2)、信号解调模块(3)、数据处理模块(4)组成；采用激光散射的原理，利用测量纳米压入过程中的位移量和测量散射区域变化值确定纳米压入面积，光学系统模块(2)主要由光源，散射测量光学部件、散射测量接收器件组成。
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