[发明专利]一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺

摘要

本发明公开一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺。该微机械陀螺中，驱动电极和监控电极分布在质量块的两侧；驱动电极一端与质量块固定连接，另一端固定在二氧化硅衬底上；监控电极的一端与质量块固定连接，另一端固定在衬底上；驱动电极利用电场驱动质量块在水平方向上振动；监控电极检测质量块的振动幅度；扰动梁与驱动电极位于质量块的同一侧，扰动梁与质量块的侧边的中央固定连接；激光器的激光出射方向正对光波导的一端，光波导的另一端正对探测器；波导光栅腔体设置在光波导上；波导光栅腔体位于扰动梁的下方且扰动梁位于波导光栅腔体的倏逝场内。本发明能够实现机械结构和光学结构的独立，从而支持机械性能和光学性能的独立优化。

主权项

1.一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺，其特征在于，包括：机械敏感头单元和光学波导光栅检测单元；所述机械敏感头单元包括质量块、驱动电极、监控电极、扰动梁和二氧化硅衬底；所述光学波导光栅检测单元包括激光器、波导光栅腔体、光波导和探测器；所述质量块位于所述二氧化硅衬底上方；所述驱动电极和所述监控电极分别分布在所述质量块的两侧；所述驱动电极一端与所述质量块固定连接，所述驱动电极的另一端固定在所述二氧化硅衬底上；所述监控电极的一端与所述质量块固定连接，所述监控电极的另一端固定在所述二氧化硅衬底上；所述驱动电极用于利用电场驱动所述质量块在水平方向上振动；所述监控电极用于检测所述质量块的振动幅度；所述扰动梁与所述驱动电极位于所述质量块的同一侧，且所述扰动梁与所述质量块的侧边的中央固定连接；所述激光器的激光出射方向正对所述光波导的一端，所述光波导的另一端正对所述探测器；所述波导光栅腔体设置在所述光波导上；所述波导光栅腔体位于所述扰动梁的下方且所述扰动梁位于所述波导光栅腔体的倏逝场内。